Alcatel Adixen AD100K nagyvákuumú

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Adixen AD30K száraz szivattyú, magas vákuum
Az új nagy teljesítményű szárazüzemű szivattyúk:
Az ADH sorozatot kifejezetten a napelemes
félvezető- és LED-piacok igényes folyamataihoz fejlesztették ki,
600-4500 m3/h szivattyúzási sebességgel.

Félvezető: Nagy H2 szivattyúzási sebesség
Az ADH sorozat teljesítménye a következő előnyökkel jár:
-ADL-folyamat teljesítménye: a könnyű gázok magas szivattyúzási hatékonysága
Lehetővé teszi a kamra gyorsabb kiürítését a folyamatlépések között
- Epitaxia és EUV: nagy szivattyúzási sebesség és nagy áramlási sebesség
A tolerancia teljesíti a legigényesebb technológiai előírásokat is


Adixen AD30K szárazszivattyú, nagy vákuum, AD 30 KL
Gyártó: Alcatel Adixen
Típus: AD30K.H
Gyártás éve: 2008

Adixen AD100K.H
Gyártó: Alcatel Adixen
Njdpfx Aeikq Tysb Iewc
Típus: AD100K.H
Gyártás éve: 2008

Vákuumszivattyú:
Gyártó: AERZEN
Típus: GM 2000 CM-C
Sebesség: 6000 fordulat/perc
Feszültség: 200-460 V
Frekvencia (ásványolaj/PFPE olaj): 100 c/s
Szívóteljesítmény max.: 4035 m3/h
Max. fordulatszám: 5920 rpm
Motor teljesítménye S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Építési év: 2008
Súly: 345 kg

Száraz szivattyú:
Gyártó: Adixen
Típus: BF ADP122
Gyártás éve: 2008
Teljesítmény: 1,5 kW
Maximális szívóteljesítmény: 95 m3/h
Maximális folyamatos bemeneti nyomás: 50 mbar
Maximális kipufogógáz túlnyomás: 1200 mbar
Hűtővíz: 60 l/h
Sebesség (szivattyú): 3000-3600 fordulat/perc
Szivattyú üzemi hőmérséklete: 5 °C és 40 °C között
Bemeneti karima: DN 50 ISO-KF
Kipufogó karima: DN 40

A hirdetés automatikusan került lefordításra, éppen ezért fordítási hibák előfordulhatnak.